洗淨

對敏感性基材進行最佳化清洗,是下游製程能夠達到最佳成果的首要條件。Manz 能為硬式與軟性基材提供高效率的化學濕製程洗淨設備。

洗淨

終端產品走向愈來愈高解析度趨勢,使得基材洗淨條件也益發嚴苛。Manz 的洗淨(清洗)系統能夠可靠地移除基材上的微粒、灰塵與有機汙染物,為後續的製程階段提供最佳化的生產條件。

我們的產品線,包括洗淨各式各樣不同基材(例如玻璃、矽晶圓、軟性材料)的流通系統,並採用多樣化的洗淨技術,例如:

  • 刷輪清洗
  • 超音波清洗
  • 兆聲清洗
  • 高壓清洗

我們的設備涵蓋廣泛的洗淨製程與可適用的基材種類,包括顯示器與觸控面板生產製程的素玻璃入料清洗,到已鍍膜基材的洗淨 (例如抗油鍍膜玻璃或半導體,或是銅沉積前的印刷電路板)。因此,可處理的基材尺寸小至智慧型手機,最大可達 3,370×2,940 mm (10.5 代)。
為了準確供應製程中必須的洗淨藥液,我們也提供相對應的供給系統