化学湿制程

Manz 为台湾及中国化学湿制程领域中的市场领导者,凭借着近 30 年长期而丰富的经验,以及和超过 3000台以上的设备销售实绩,能为显示器及触控面板产业提供生产制程解决方案;可处理的基板尺寸小至最小可满足智能型手机的应用,最大可达 3,370 x 2,940 (10.5 代)。除此之外,我们的化学湿制程技术还更可应用于太阳能产业中的晶硅和及薄膜太阳能电池生产制程。

Manz 为各种基板提供洗净(清洗)、镀膜(涂布)、电镀及闪镀(金属电镀法)、蚀刻和剥膜等方案,且有镀膜重工与拔膜设备用于贵重材料回收再利用于。这一系列的全方位服务均基于我们在处理诸如氢氟酸、硝酸或碱液等潜在危险性化学品方面的极高专业化水平。在线式高精度药液自动分析管理添加仪(ICA 001)还支持实时分析和支持5种药液后续计量功能,实现在化学湿制程的高效生产。

凭借着我们设备的组件化设计制程技术应用的可转移性(可转移应用至其他产业),我们的解决方案能为您提供绝佳的成本获利比。优化的生产时间与制程再现性,能够在确保产品质量稳定的同时,创造卓越收益。

我们的化学湿制程设备是专为所有的在线式制程设计的,在玻璃基板、印刷电路板、硅晶圆以及软性薄膜 (卷对卷制程)等处理上均拥有杰出表现。
无论是制程、机台,亦或相关组件的研发,我们都主要聚焦如何使制程的功能性达到最高。另外,刚性组件的应用、操作的简便性、更高的可靠性与安全性标准,以及制程良率等因素也都是我们的研发过程中的考虑因素。 通过优化制程与基板的材料及化学输送,即使在高生产量下也能而达成极低的破片率,并同时将系统的污染与扩散降到最低。
数十年来,我们的化学湿制程技术在量产上已经证明自己的实力。这意味着我们可以完整提供从制程研发与优化、系统设计、仿真到建厂等整厂解决方案。