Cleaning, Developing, Etching, Stripping

Manz bietet Reinigungs-, Entwicklungs-, Ätz- und Stripping-Prozesse in der Nasschemie an, die vor allem bei der Herstellung von high-end Panel-Level-Packaging (PLP) von Halbleitern, IC-Substraten und Displays zum Einsatz kommen.

Flexible Anwendungen, überragende Ergebnisse

Mit fast 40 Jahren Erfahrung im Umgang mit einer Vielzahl von Substraten im Fotolackprozess gewährleistet unser Fachwissen eine hohe Partikelentfernungsrate, eine hervorragende Auflösung und eine gründliche Entfernung des restlichen Fotolacks. Dies ermöglicht Prozessflexibilität bei zahlreichen Anwendungen.

Unser Equipment kommt in diesen Bereichen zum Einsatz:

 

  • Halbleiter Fan-out Panel Level Packing (FOPLP)
  • Displays
  • IC Substrate & TGV (Through-glass via)

Unser Leitsungsspektrum

 

Halbleiter
FOPLP

IC Substrate
Core
IC Substrate
TGV
Display
Material EMC FR-4 Glas Glas
L/S 2/2 40/40 um 2/2 um 2/2 um
Substratgröße max. 700 x 700 mm 510 x 515 mm 510 x 515 mm max.
2940 x 3370 mm
(G10.5)

 

Ihre Benefits

 

  • Die hochpräzise Getriebekonfiguration reduziert Vibrationen bei der Übertragung.
  • Trockenbereich, um die Oxidation der leitfähigen Schicht zu verhindern.
  • Durch das gleichmäßige Sprühen werden geringe Linienbreiten und -abstände erreicht.
  • Horizontales und vertikales automatisches Be- und Entladesystem.
Wir freuen uns auf Ihre Anfrage!

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