Manz RDL 先进制程 引领板级封装加速发展

专注于发展板级封装 (FOPLP) 及玻璃基材 (TGV) 的孔洞及内接导线金属化工艺关键技术

在人工智能 (AI) 和高性能计算 (HPC) 的推动下,先进封装技术迎来了更小的 I/O 间距和更高密度的RDL线间距。我们持续发展新技术和升级生产设备,以使客户能达成更紧凑的 I/O 接口和更精密的电气连接。

我们提供「RDL先进制程」关键设备,能够使客户实现更高度集成、性能更卓越且功耗更低的产品。

我们持续通过不断精进的RDL工艺,设备涵盖 — 湿法化学制程 (洗净、蚀刻、通孔工艺设备) 、自动化及电镀布局半导体板级封装市场,已成为FOPLP生产设备的领头羊之一;以此厚实的基础,更进一步投入新一代半导体封装的TGV玻璃芯基材,通过板级制程实现高效率和大面积的生产,从而降低整体生产成本。

玻璃芯 (Glass core) 具备成本优势、散热佳,有效提升终端产品性能

玻璃中介层的独特性能 — 在高频率下实现低电损耗,使其成为制造射频封装(RFIC)的理想选择,带来了优越的性能和效能。
然而,要实现优异的玻璃导通孔 (Through glass via ,TGV) ,为芯片与电路板之间的上下信号传递搭建了通道,Manz RDL制程设备,搭配自动化设备,可提供整合度高的玻璃芯生产解决方案,达成高真圆度通孔,优化器件电力与讯号传输,提升芯片效能。

Manz「玻璃芯基材 (Glass core) 一站式解决方案」
基板清洁|雷射处理|蚀刻|镀通孔|电镀

  • 具备玻璃传输及自动化经验
  • 高清洁度及高蚀刻均匀性
  • 高纵深比技术

板级封装以产能与成本优势凝聚半导体产业新动能

具高密度整合芯片、成本效益、高可靠性等优势的板级封装技术,已应用于车载之电源管理晶片外,也逐步扩大应用范围,成为新世代射频通讯芯片应用于低轨道卫星通讯的创新封装制程。

而芯片藉由重布线层技术,连结并整合在单一封装体中,甚至将整个系统所需的功能芯片一次打包成为单一元件,整合在一个封装体中,实现高密度封装,达到产品高效且体积小的要求。

Manz的板级封装制程设备解决方案能够无缝整合化学湿法工艺前后制程,支持单一设备到整厂规划,并从专案初期随即与客户密切讨论,争取最快速的上市时机。

Manz「板级封装 (FOPLP) RDL整厂生产设备解决方案

涂布与电镀设备洗净设备显影、蚀刻、剥膜(水平/垂直式)设备

 

  • 整合软硬体系统之整线生产设备
  • 适用于各式基板生产
  • 最大基板尺寸700mm x 700mm

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