Entwickeln, Ätzen, Strippen & Nachbearbeiten

Nasschemische Verfahren für die Lithographieentwicklung, Ätzen und Strippen kommen in der Leiterplattenherstellung sowie in der Produktion von Displays und Touch Panels zur Anwendung. Diese Verfahren spielen außerdem eine wichtige Rolle in der Produktion von Dünnschicht-Solarmodulen. Auch die dazugehörigen Reinigungsprozesse sind wesentlich z. B. in der Produktion von Displays. Das Produktangebot von Manz deckt alle diese wichtigen Verfahrensschritte ab und beinhaltet außerdem nasschemische Prozessanlagen für die Nachbearbeitung und/oder Reinigung.

Entwickeln, Ätzen, Strippen & Nachbearbeiten

Manz ist Anbieter von vollständig automatisierten Prozesslösungen für die Entwicklung, das Ätzen und Stripping von Substraten. Unser Produktangebot beinhaltet außerdem nasschemische Prozessanlagen, die für eine Umarbeitung – beispielsweise das vollständige Entfernen aller Schichten – geeignet sind, so dass teure Materialien wiedergewonnen und Substrate zurück in den Produktionsprozess recycelt werden können.

Dank Jahrzehnten an Erfahrung verfügt Manz über eine einzigartige Expertise auf dem Gebiet der Ätzverfahren. Die Verfahrensvielfalt reicht von der Texturierung über das Polieren (z. B. von Metalloberflächen) bis hin zum Metallätzen (z. B. das Kupferätzen bei Leiterplatten). All diese Verfahren sind ebenfalls für einseitige Ätzprozesse verfügbar (z. B. chemische Kantenisolierung).
Viele gefährliche Chemikalien werden im Rahmen von Ätzverfahren verwendet. Sollte eine zentrale Versorgung mit Chemikalien wie Flusssäure, Schwefelsäure oder Kaliumhydroxidlösung nicht möglich sein, bieten wir außerdem passende Chemieversorgungsschränke an.
Unsere Ätzverfahren können bei verschiedenen Substraten angewendet werden, beispielsweise Glas oder Leiterplatten.

Für das Stripping des Fotolacks bieten wir alkalische Verfahren (z. B. NaOH, KOH) an, die vor allem in der Leiterplattenherstellung zum Einsatz kommen, sowie organische Verfahren (z. B. MEA, BDG), die häufig in der Herstellung von Displays verwendet werden.