Manz steigt in den Markt für Vakuumbeschichtungsanlagen zur Fertigung kristalliner Solarzellen ein

02.08.2012 10:03:00 CEST Die Manz AG steigt mit einem voll automatisierten System zur Vorder- und Rückseitenbeschichtung in den Markt für Vakuumbeschichtungsanlagen zur Produktion kristalliner Solarzellen ein. Die PECVD-Anlage VCS 1200 beschichtet Vorder- und Rückseite von Zellen in einer vertikalen Position bei einem Durchsatz von bis zu 1.200 Wafern pro Stunde.

  • Voll automatisierte Anlage für vertikale Vorder- und Rückseitenbeschichtung
  • Neuartiges Reinigungskonzept für Prozesskammer und Carrier
  • Manz bietet nun alle wesentlichen Technologien zur Fertigung kristalliner Solarzellen aus einer Hand

Die Manz AG steigt mit einem voll automatisierten System zur Vorder- und Rückseitenbeschichtung in den Markt für Vakuumbeschichtungsanlagen zur Produktion kristalliner Solarzellen ein. Die PECVD-Anlage VCS 1200 beschichtet Vorder- und Rückseite von Zellen in einer vertikalen Position bei einem Durchsatz von bis zu 1.200 Wafern pro Stunde. Die Passivierung wird in einer plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapour deposition) erreicht.

Die Hochleistungsplasmaquelle und das neuartige Carrier-System der VCS 1200 hat Manz jeweils zum Patent angemeldet. Wichtigster Vorteil für Zellenhersteller ist die Homogenität und Qualität der Beschichtung, da der Manz-Prozess keine Abschattungen, zum Beispiel Abdrücke durch das mechanische Fixieren der Wafer oder Rückstände, auf dem Wafer hinterlässt. Das führt zu einer eindeutigen Wirkungsgradsteigerung. Ein weiterer wichtiger Kundenvorteil ist das neuartige Reinigungskonzept, das die Stillstandszeiten minimiert, da die Reinigung sowohl der Prozesskammer als auch des Carriers außerhalb der Anlage erfolgt.

Die neue Vakuumbeschichtungsanlage VCS 1200 ist das erste komplett von der 2010 gegründeten Manz Coating GmbH entwickelte System. Geschäftsführer Mathias Höfler: „Die sehr kurze Zeit bis zur Markteinführung ist das Resultat der geballten Technologiekompetenz unserer 50 hochspezialisierten Ingenieure. Mit dieser Anlage schließen wir die noch offene Lücke hin zum Komplettanbieter für alle wichtigen Technologieschritte der Zellproduktion.“

Manz hat die Anlage so konzipiert, dass sie auch in bereits existierende Produktionslinien integriert werden kann. Für Zellenhersteller ergibt sich damit eine Möglichkeit, wieder profitabel zu produzieren. Dieter Manz, Gründer und CEO der Manz AG, ergänzt: „Jeder kennt die derzeitigen Schwierigkeiten der Photovoltaikbranche: Alle Zellenhersteller müssen deshalb die Kosten per Watt weiter senken. Unsere PECVD-Anlage bietet eine perfekte Lösung durch niedrigste Investitions- und Betriebskosten.“ Manz wird die neue Beschichtungsanlage erstmals auf der Branchenmesse EU PVSEC in Frankfurt/Main (25.-28. September 2012) der Öffentlichkeit vorstellen.

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